符合 SEMI 国际规范的前道与后道工业级软件底座

面向半导体制造的工业级制造管理软件(MES/CIM)解决方案

晶圆制造工艺繁杂、换批损耗严重、测试追溯断链?我们的首页|J9国际集团中国官网网站提供晶圆级批次追踪、SECS/GEM无缝机台互联、SPC良率分析与智能闭环派工,确保微米级精度下的高效连续排产与质量可靠性。

99.98%
系统稳定可用率
<50ms
指令分发时延
100%
晶圆级正反向回溯

获取半导体产线适配方案

专业实施顾问将在2小时内与您对接产线需求

已严格遵守数据本地化安全标准,保障企业知识产权

系统底层架构标准

构建高吞吐、微秒级响应的半导体制造软硬件协同矩阵

半导体制造工艺流程长达数百道工步,容错率极低。本套首页|J9国际集团中国官网网站采用微服务与分布式事务内存总线,全面贯彻SEMI国际制造通讯规范。无论是晶圆光刻、薄膜沉积,还是后道打线与晶圆划片,系统均能完成从EAP(机台自动化)到MES(制造执行)的精准数据穿透与锁机防呆防错。

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SEMI E4 (SECS-I) 与 E37 (HSMS) 标准高可靠以太网互联通讯

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晶圆级 Wafer ID 与 FOUP/Cassette 载具自动化绑定与动态校验

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毫秒级 Recipe 生产配方下发与机台参数防错(RMS)一体化闭环

首页|J9国际集团中国官网网站晶圆流转看板与系统拓扑
CIM / MES / SPC 集中控制中枢
实现从硅片投料到成品仓储的全域透明化生产追踪
深度精工制造

突破良率与稼动率瓶颈的六大核心驱动引擎

针对半导体生产中存在的离散工序多、工艺参数敏感、设备投入巨大等痛点,提供标准化管控组件。

SPC 实时统计制程控制

提供多维度品质趋势监测,涵盖均值极差分析、失控规则自动判定及不良晶粒阻断。

  • • Western Electric 规则引擎
  • • 异常工位触发自动阻断锁机
  • • CPK / PPK 制程能力自动演算

SECS/GEM 设备互联

支持光刻、刻蚀、注离子、固晶机、焊线机等各类新老机台无侵入式通信集成。

  • • 兼容 E30 GEM 状态模型定义
  • • 毫秒级报警数据高速采集
  • • 远程参数配置与Recipe版本校验

晶圆级全生命周期追踪

实现从单片硅片到晶圆盒、切割划片到成品IC芯片粒级(Die)的正反向双向溯源。

  • • 支持 Wafer Map 晶圆图谱流转
  • • 载具与花篮清洗周期严格追踪
  • • 跨工序历史生产谱系回放

动态智能排产派工 (Dispatch)

结合光刻机黄光区、高温炉管及引线框架产能负荷,实时动态分配最优生产工单。

  • • 瓶颈机台动态节拍平衡算法
  • • Q-Time 晶圆防氧化时效预警
  • • 多品种小批量流转智能合批

OEE 与工模治具全维监管

机台稼动率多维度下钻,针测卡(Probe Card)、吸嘴、劈刀等核心易耗品寿命精准闭环。

  • • 机台空转与宕机原因精确打卡
  • • 易损耗材剩余寿命超限硬锁
  • • 预防性维护(PM)自动派工提醒

电子批记录 (e-Traveler)

彻底废除传统无尘室内纸质随工单,无缝记录工程师操作签名、测试日志与异常签核。

  • • 符合 FDA 21 CFR Part 11 合规签名
  • • 权限分级与关键配方双人复核
  • • 无尘室终端即时扫描流转
产品矩阵与套件

覆盖半导体产业全价值链的制造软件套件

无论是晶圆制造、先进封装测试还是综合型 IDM 厂商,均能按需匹配专业模块。

前道工序专用

晶圆制造版 MES/CIM

专为硅片、碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)晶圆制造厂打造,严格管理长达数百道循环的光刻、离子注入与抛光工艺。

核心模块支持:
Wafer 级槽位(Slot)精确定位
Q-Time 超时报警与再烘烤管理
先进工艺控制 (APC / FDC) 接入
支持 8 吋与 12 吋晶圆自动搬运对接
咨询晶圆版配置
主流推荐方案
后道工序专用

先进封装测试版 MES

适配 Chiplet、SiP、BGA、QFN 等封装形式,打通晶圆划片、装片、引线键合至塑封、切筋打标全工步。

核心模块支持:
Strip 图谱与晶粒级(Die)缺陷映射
金线、环氧树脂等胶水冷藏时效管理
多批次混流生产防止混料装配
CP / FT 测试数据自动归集分析
立即申请试用套件
全产业链贯通

IDM 综合一体化管控平台

将设计流片(Tape-out)、晶圆代工与委外封测(OSAT)协同进行一体化整合,实现端到端数据全景可视。

核心模块支持:
外协封测厂 B2B 生产数据自动交换
多基地多工厂协同计划排程调度
良率波动根因跨工序追溯矩阵
支持信创环境部署与本地数据沉淀
咨询 IDM 架构方案
高洁净度车间管理理念

从粗放手工记账到“以晶圆为中心”的微观精确控制

半导体制造投资极其密集,任何一次配方错误、氧化超时或温湿度微小偏差都可能造成整批晶圆报废。现代化首页|J9国际集团中国官网网站通过防呆防错(POKA-YOKE)机制与高敏闭环反馈,将工艺容错彻底置于软件硬性管控之下。

SECS Protocol Standard Validation
已通过 100+ 主流半导体机台联机测试验证
管控维度 传统离散或粗放型管理 现代化首页|J9国际集团中国官网网站
机台数据采集 人工抄录运行日志,数据滞后数小时 SECS/GEM 直连秒级上传,状态全时监控
配方安全防呆 人工手动选择机台 Recipe,易错选配方 RMS 模块校验并自动下发,错误直接锁机
晶圆溯源精度 仅按批次粗略记录,无法追踪具体单片 Wafer-ID 槽位级穿透,支持切片粒级映射
制程时间管控 人工计算工序停留,常发生氧化超时报废 Q-Time 动态倒计时,超时自动封锁并预警
良率分析效率 依赖事后 Excel 统计,耗时数天 实时 SPC 图表与晶圆缺陷热力图秒级生成
落地实践与成效

赋能半导体前道与后道标杆客户突破产能极限

真实记录晶圆制造及封装测试厂如何在复杂生产环境中完成数智化转型升级。

标杆案例:某头部 8 吋功率器件晶圆制造厂

解决 300+ 复杂工艺步序的派工混淆与黄光区产能瓶颈

该厂由于多规格车规级功率半导体混线生产,机台换线繁琐,传统人工排产极易发生配方错置及 Q-Time 超时事故。导入本首页|J9国际集团中国官网网站后,全面实现全自动派工调度,打通了黄光、扩散、薄膜各区段的数据断层。

+18.5%
机台稼动率提升
-32%
晶圆报废率下降
100%
配方防呆校验率
首页|J9国际集团中国官网网站在晶圆制造产线的实际落地图景
4.8%
综合平均良率提升
21.5%
机台综合利用率 (OEE) 优化
35%
在制品 (WIP) 周转天数缩短
0 件
重大配方误操作重大事故发生
产线实名口碑

来自半导体制造一线管理者的真实评价

听听工艺主管、IT总监及厂长对系统稳定性与易用性的综合反馈。

★★★★★

“前道晶圆制造的 SECS/GEM 协议对接向来是行业攻坚难点。这套系统在两个月内顺利完成了我们 80 多台关键机台的直连,数据抓取稳定且毫秒级响应,彻底消除了手工记录偏差。”

张
张工
某晶圆代工厂 CIM 系统总架构师
★★★★★

“封装测试车间产品规格频繁切换,混料与金线用尽是致命隐患。系统强大的批次校验与防呆阻断功能,让我们的封装良品率直接跃升了近 3 个百分点,投资回报非常明显。”

李
李主管
先进封测企业 生产制造运营总监
★★★★★

“无纸化 e-Traveler 与电子签名的落地非常平稳。车规级客户来厂审计时,几秒钟内便能调出任意单片晶圆在每个工序的工艺参数曲线,给客户留下了极深的高专业度印象。”

王
王总
功率半导体模组厂 常务副总经理
行业前沿洞察

半导体制造软件技术与规范动态

查看完整解决方案架构 →
SEMI 国际标准研讨

SECS/GEM 协议在老旧半导体机台升级中的轻量化实现

通过智能通讯网关将非标信号无损转换为 SEMI 规范指令,实现零停机改造。

查阅技术答疑
良率工程白皮书

基于晶圆图谱(Wafer Map)的缺陷分布智能溯源分析

借助边缘集中聚类算法识别边缘环形与划痕类缺陷,精确锚定异常机台。

查阅技术答疑
智能制造排程

Q-Time 严苛约束下晶圆光刻与刻蚀的动态合批派工策略

通过约束理论动态平衡黄光区瓶颈利用率,有效遏制晶圆在制品氧化报废。

查阅技术答疑
深度技术抗性拆解

首页|J9国际集团中国官网网站常见技术疑难解答

关于协议兼容、多品种混线排产以及产线不停机实施的技术实现路径。

完全支持。针对不支持原厂 SECS/GEM 协议的老旧设备,我们配备了专用的工业级边缘硬件采集网关(Edge Box),可通过 PLC、光栅、模拟量传感器等方式提取机台状态与良率信号,转换为标准 HSMS 报文上传至系统,实现新老设备同屏统一管控。
系统在工步路线中设置了动态 Q-Time 计时器。从前一道工步(如刻蚀清洗)完成出站开始,系统启动精确至秒级的倒计时。到达警戒阈值时系统会触发声光预警并将该批次优先级动态提升至下一道工位队列首位;若不幸超时,系统将自动锁批并生成返工签核工单。
系统搭载配方管理系统(RMS),实行配方集中化云端存储与工程签名发布机制。在机台开始加工前,系统会与机台当前待执行配方名称及参数校验码进行双向比对。若参数不一致或未达最新生效版本,系统会硬性禁止机台开工,防止整批晶圆报废。
内置先进的智能排程引擎,支持按产品封装规格、引线框架尺寸与打线程序进行自动合批。在保障交期的前提下最大限度减少装刀、换夹具与清洗模具的换线频次,显著降低无产出换线停机损耗。
不需要。我们采用“双轨并行与逐步切线”的专业半导体实施策略。在底层协议联机与数据流验证阶段全程旁路运行,待各项防呆规则与测试数据完全对齐后,再在换班维护窗口期实现无缝切换,确保连续性生产不受干扰。
支持完整的本地化私有部署与信创环境适配。数据采用国密算法端到端加密,并具备颗粒度细化至单一工位参数字段的权限审计系统,彻底防止高敏感制程参数的外泄或非授权导出。
SEMI 标准规范认证
完全符合 E4 / E5 / E30 / E37
国家信创基础适配
支持麒麟/统信及国产数据库
信息安全等保三级
车规级芯片数据安全保障
7×24 产线驻场护航
关键制程故障微秒级响应
开启半导体数智化精工生产新里程

预约资深半导体工艺架构师,获取定制化系统部署方案

针对您晶圆厂或封测厂的特定工艺节点、机台类型及良率瓶颈,我们的工业顾问将为您梳理从 SECS 通讯到底层 MES 排程的闭环实施路径。

支持现场驻厂需求调研 · 出具详细 ROI 投资回报与排程实施周期表