面向半导体制造的工业级制造管理软件(MES/CIM)解决方案
晶圆制造工艺繁杂、换批损耗严重、测试追溯断链?我们的首页|J9国际集团中国官网网站提供晶圆级批次追踪、SECS/GEM无缝机台互联、SPC良率分析与智能闭环派工,确保微米级精度下的高效连续排产与质量可靠性。
获取半导体产线适配方案
专业实施顾问将在2小时内与您对接产线需求
构建高吞吐、微秒级响应的半导体制造软硬件协同矩阵
半导体制造工艺流程长达数百道工步,容错率极低。本套首页|J9国际集团中国官网网站采用微服务与分布式事务内存总线,全面贯彻SEMI国际制造通讯规范。无论是晶圆光刻、薄膜沉积,还是后道打线与晶圆划片,系统均能完成从EAP(机台自动化)到MES(制造执行)的精准数据穿透与锁机防呆防错。
SEMI E4 (SECS-I) 与 E37 (HSMS) 标准高可靠以太网互联通讯
晶圆级 Wafer ID 与 FOUP/Cassette 载具自动化绑定与动态校验
毫秒级 Recipe 生产配方下发与机台参数防错(RMS)一体化闭环
突破良率与稼动率瓶颈的六大核心驱动引擎
针对半导体生产中存在的离散工序多、工艺参数敏感、设备投入巨大等痛点,提供标准化管控组件。
SPC 实时统计制程控制
提供多维度品质趋势监测,涵盖均值极差分析、失控规则自动判定及不良晶粒阻断。
- • Western Electric 规则引擎
- • 异常工位触发自动阻断锁机
- • CPK / PPK 制程能力自动演算
SECS/GEM 设备互联
支持光刻、刻蚀、注离子、固晶机、焊线机等各类新老机台无侵入式通信集成。
- • 兼容 E30 GEM 状态模型定义
- • 毫秒级报警数据高速采集
- • 远程参数配置与Recipe版本校验
晶圆级全生命周期追踪
实现从单片硅片到晶圆盒、切割划片到成品IC芯片粒级(Die)的正反向双向溯源。
- • 支持 Wafer Map 晶圆图谱流转
- • 载具与花篮清洗周期严格追踪
- • 跨工序历史生产谱系回放
动态智能排产派工 (Dispatch)
结合光刻机黄光区、高温炉管及引线框架产能负荷,实时动态分配最优生产工单。
- • 瓶颈机台动态节拍平衡算法
- • Q-Time 晶圆防氧化时效预警
- • 多品种小批量流转智能合批
OEE 与工模治具全维监管
机台稼动率多维度下钻,针测卡(Probe Card)、吸嘴、劈刀等核心易耗品寿命精准闭环。
- • 机台空转与宕机原因精确打卡
- • 易损耗材剩余寿命超限硬锁
- • 预防性维护(PM)自动派工提醒
电子批记录 (e-Traveler)
彻底废除传统无尘室内纸质随工单,无缝记录工程师操作签名、测试日志与异常签核。
- • 符合 FDA 21 CFR Part 11 合规签名
- • 权限分级与关键配方双人复核
- • 无尘室终端即时扫描流转
覆盖半导体产业全价值链的制造软件套件
无论是晶圆制造、先进封装测试还是综合型 IDM 厂商,均能按需匹配专业模块。
晶圆制造版 MES/CIM
专为硅片、碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)晶圆制造厂打造,严格管理长达数百道循环的光刻、离子注入与抛光工艺。
先进封装测试版 MES
适配 Chiplet、SiP、BGA、QFN 等封装形式,打通晶圆划片、装片、引线键合至塑封、切筋打标全工步。
IDM 综合一体化管控平台
将设计流片(Tape-out)、晶圆代工与委外封测(OSAT)协同进行一体化整合,实现端到端数据全景可视。
从粗放手工记账到“以晶圆为中心”的微观精确控制
半导体制造投资极其密集,任何一次配方错误、氧化超时或温湿度微小偏差都可能造成整批晶圆报废。现代化首页|J9国际集团中国官网网站通过防呆防错(POKA-YOKE)机制与高敏闭环反馈,将工艺容错彻底置于软件硬性管控之下。
| 管控维度 | 传统离散或粗放型管理 | 现代化首页|J9国际集团中国官网网站 |
|---|---|---|
| 机台数据采集 | 人工抄录运行日志,数据滞后数小时 | SECS/GEM 直连秒级上传,状态全时监控 |
| 配方安全防呆 | 人工手动选择机台 Recipe,易错选配方 | RMS 模块校验并自动下发,错误直接锁机 |
| 晶圆溯源精度 | 仅按批次粗略记录,无法追踪具体单片 | Wafer-ID 槽位级穿透,支持切片粒级映射 |
| 制程时间管控 | 人工计算工序停留,常发生氧化超时报废 | Q-Time 动态倒计时,超时自动封锁并预警 |
| 良率分析效率 | 依赖事后 Excel 统计,耗时数天 | 实时 SPC 图表与晶圆缺陷热力图秒级生成 |
赋能半导体前道与后道标杆客户突破产能极限
真实记录晶圆制造及封装测试厂如何在复杂生产环境中完成数智化转型升级。
解决 300+ 复杂工艺步序的派工混淆与黄光区产能瓶颈
该厂由于多规格车规级功率半导体混线生产,机台换线繁琐,传统人工排产极易发生配方错置及 Q-Time 超时事故。导入本首页|J9国际集团中国官网网站后,全面实现全自动派工调度,打通了黄光、扩散、薄膜各区段的数据断层。
来自半导体制造一线管理者的真实评价
听听工艺主管、IT总监及厂长对系统稳定性与易用性的综合反馈。
“前道晶圆制造的 SECS/GEM 协议对接向来是行业攻坚难点。这套系统在两个月内顺利完成了我们 80 多台关键机台的直连,数据抓取稳定且毫秒级响应,彻底消除了手工记录偏差。”
“封装测试车间产品规格频繁切换,混料与金线用尽是致命隐患。系统强大的批次校验与防呆阻断功能,让我们的封装良品率直接跃升了近 3 个百分点,投资回报非常明显。”
“无纸化 e-Traveler 与电子签名的落地非常平稳。车规级客户来厂审计时,几秒钟内便能调出任意单片晶圆在每个工序的工艺参数曲线,给客户留下了极深的高专业度印象。”
半导体制造软件技术与规范动态
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关于协议兼容、多品种混线排产以及产线不停机实施的技术实现路径。
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针对您晶圆厂或封测厂的特定工艺节点、机台类型及良率瓶颈,我们的工业顾问将为您梳理从 SECS 通讯到底层 MES 排程的闭环实施路径。